《PARADISEWORLD-2》モジュール構成

《PARADISEWORLD-2》は以下の独立したモジュールから構成されています。 ( 3次元オプションはこちら)

フレームワーク ――PW（ParadiseWorld） システム全体を統括します。 他のモジュールは本モジュールの子プログラムとして起動します。 [主な機能] パラメータファイルロード 利用データセット選択 サブモジュール起動
レイアウトパタン表示 ――PALM（PAttern Layout Monitor ） GDS-II 形式の LSI 設計レイアウトパタンを表示し、拡大、縮小、レイヤーの表示色変更などの機能を持ったプログラムです。レイアウトパタンの簡易編集もできます。画面上で LSI断面構造を表示させたい(切斷線)を指定します。 [主な機能] 1GBクラスの大規模GDS-IIファイルの読み込み、高速表示 (物理メモリとCPU速度によります) 形状シミュレーション/断面マスクパタン表示の位置指定 (カットラインおよびカットエリアの指定) 指定座標への高速移動 パタンの半透明表示 簡易パタン作成
断面マスクパタン表示 ――LION（Layer Image Output routine by NTT） PALM のレイアウトパタン表示画面と連動して、切断線に対応したマスクパタンの層構成を表示します。PALM で切断位置を変更すればこれに連動して表示画面が変わります。 また、切り出したマスクパタンの加工が可能です。 [主な機能] マスク生成演算 (レイヤ間論理演算、パタンのリサイジング) マスクデータ出力 (他シミュレーションとのインターフェース) シミュレーション画面マスクパタンの編集 シミュレーション画面マスクパタンのセーブ/ロード
断面形状シミュレーション ――TIGER（Topography Image GEneration Routine） PALM のレイアウトパタン表示画面と連動して、切断線に対応した LSI 断面の構造を表示します。各プロセスにおけるデポジションやエッチングの処理時間などを記述したプロセスデータ（工程表）にしたがって、シミュレーションを実施し断面構造を表示します。 [主な機能] ステップ制御（開始／停止工程指定、1ステップ動作） 途中形状の一時保存（最大3形状）／読み出し パターニング誤差評価（ずれ、太り／細り） 形状の修正（マウスによるゴミ付着／パタン欠陥描画） 拡張表示（拡大、視点切り替え、左右反転） 物質プロービング（マウス指定場所の物質名表示） 2点間距離測定 シミュレーション断面形状のセーブ／ロード
断面配線間容量／抵抗解析 ――CARP（Capacitance And Resistance analysis Program） TIGER で求めた断面構造上で、物質ごとに設定した比誘電率などにしたがって、 配線容量、電位分布、配線抵抗などを算出します。 [主な機能] 断面配線間容量算出 断面配線間電位分布表示 断面配線抵抗算出 断面配線内電流分布表示
パラメータエディタ ――PENGUIN（Parameter ENtry and Generalization User-INterface） PALM,LION,TIGER,CARP で使用する各種データを編集します。 TIGERと連動させてプロセスのステップ制御が行なえますので、 モデルパラメータやプロセスパラメータの調整が容易に行なえます。 [主な機能] パラメータファイル編集 （表示色、マスク生成演算、エッチング／でポジションレートなどの編集） 工程編集と断面形状のインタラクティブシミュレーション
データセットエディタ ――DSEDIT（DataSetEDITor） パラメータファイル内のデータセット単位での削除や、 別のパラメータファイルへのデータセットのコピーなどが行なえます。 [主な機能] パラメータファイル間データセットコピー データセット削除

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