ParadiseWorld-2 機能仕様

機能構成

ParadiseWorld-2は、以下に示す機能で構成されています。

• 統合開発インタフェース
• レイアウトビューワ (Palm)
• 形状シミュレータ (Tiger)
• LCR抽出機能 (Carp)
• リソグラフィシミュレーション機能 (Lynx)
• 形状エクスポート機能 (Leopard)
• ３次元形状ビューワ (Thrush)
• Web版３次元形状ビューワ (WebThrush)
• Web版断面表示ビューワ (PixViewer)

適用対象

• 半導体プロセスによる加工形状の評価：適用したプロセスの例を以下に列挙します。
  • 深掘りエッチング
  • SADP (Self-Aligned Double Patterning)
  • 自己クローニング法
• 半導体デバイスの断面形状/３次元形状の可視化と評価：適用したデバイスの例を以下に列挙します。
  • CMOS
  • FinFET
  • 3次元メモリ
  • 磁気ヘッド
  • MEMS
• 半導体デバイスの電気特性抽出（容量、抵抗、インダクタンス）
• 半導体デバイスの故障解析

統合開発インタフェース

本インタフェースは、以下に示す機能を有しています。

• マスクデータの追加/削除/編集
• 材質データの追加/削除/編集
• プロセスモデルの追加/削除/編集
• プロセスフローの追加/削除/編集
• 複数のプロセスのグループ化
• マクロ設定
• レイアウトビューア、形状シミュレータ、3次元形状ビューワ、LCR抽出機能、形状エクスポート機能のランチャー
• プロセスデータセット(pdd)ファイルの保存/読込

レイアウトビューワ (Palm)

本ビューワは、以下に示す機能を有しています。

• GDS-IIファイルの読込/保存
• GDS-IIデータの表示、表示の拡大/縮小
• 図形要素の表示/非表示、表示色、外周の表示パタン、塗りつぶしパタンの変更
• 図形要素の追加/削除/編集
• 計算対象領域の指定（線分または長方形）

形状シミュレータ (Tiger)

本シミュレータの機能を、以下に列挙します。

• 半導体プロセスに伴う形状進展計算（２次元、３次元）
  • 形状進展手法：ボクセル法
  • 対応プロセス（詳細は、別ページを参照）
    • デポジション
    • エッチング
    • 酸化
    • 化合物生成
    • 粘性膜塗布
    • リフロー
    • ベーク
    • パターニング
    • 剥離
    • 研磨
    • 不純物拡散
    • 不純物注入
    • ボンディング
• 既存形状の読込後の形状進展計算
• 独自形式での形状出力 (pix形式、vox形式、dex形式)
• 途中のプロセスにおける一時停止/再開
• 途中のプロセスにおける形状の自動保存
• 途中の断面形状の表示/一時保存
• 途中の断面形状での測長
• 任意位置への物質の配置（２次元モードのみ）

LCR抽出機能 (Carp)

本機能の仕様を、以下に列挙します。

• 入力：形状シミュレータで作成した形状 (vox形式)
• 出力
  • 電位分布
  • 容量
  • 抵抗
  • インダクタンス
• 出力結果の可視化
  • 指定断面における電位分布表示
  • 容量行列のテーブル表示
  • 抵抗行列のテーブル表示
  • インダクタンス行列のテーブル表示
• 補助機能
  • 解析領域の拡張
  • メッシュ結合
  • 軸のスケーリング
• 数値解法
  • 離散化手法：有限体積法
  • 行列解法：反復法

リソグラフィシミュレーション機能 (Lynx)

本機能の仕様を、以下に列挙します。

• 入力
  • マスクデータ（GDS-II形式、独自テキスト形式）
  • パラメータデータ（独自テキスト形式）
    • 光学系パラメータ（収差、位相シフタ、瞳フィルタの考慮も可能）
    • 光強度計算の制御パラメータ
    • 露光計算パラメータ
    • PEB計算パラメータ
    • 現像計算パラメータ
    • レジスト物性パラメータ（DillのABCパラメータ、屈折率など）
  • 現像速度テーブル（csv形式）
• 出力
  • 光強度分布（csv形式）
  • 感光剤濃度分布（Legacy VTK形式）
  • 現像形状（独自テキスト形式、3次元ビューワによる可視化）
• 計算モデル
  • 光強度計算：Hopkins理論
  • 露光計算：Dillモデル、Berningアルゴリズム
  • PEB計算：ガウス分布に基づく濃度拡散（ノボラック型）、拡散方程式（化学増幅型）
  • 現像計算：ボクセル法

形状エクスポート機能 (Leopard)

形状シミュレータ(Tiger)の計算結果データを、以下に示すファイル形式に変換する機能です。

• STL
• DXF
• VTK
• NASTRAN
• dex
• vox

３次元形状ビューワ (Thrush)

形状シミュレータ(Tiger)の計算結果データを可視化する機能であり、以下に示す小機能を有します。

• ２次元形状の拡大/縮小/平行移動
• ３次元形状の回転/拡大/縮小/平行移動
• 材質の色の変更
• 材質の表示方法の変更（表示/半透明表示/非表示）
• 断面切り出し
• 領域切り出し
• 複数の形状の同時表示/高さ揃え
• 画像出力

Web版３次元形状ビューワ (WebThrush)

Webブラウザ上で動作する３次元形状ビューワです。機能は「３次元ビューワ（Thrush）」と同等です。

Web版断面表示ビューワ (PixViewer)

Webブラウザ上で動作する断面表示ビューワであり、以下に示す機能を有します。

• 計算領域とプロセスのテーブルへの断面画像の自動配置
• サムネイル作成
• 対応する3次元形状の表示（Web版3次元形状ビューワとの連携）
• 断面画像のスライド表示（スライドショー）
• 断面画像へのコメント付加