ParadiseWorld-2 機能仕様
機能構成
ParadiseWorld-2は、以下に示す機能で構成されています。
- 統合開発インタフェース
- レイアウトビューワ (Palm)
- 形状シミュレータ (Tiger)
- LCR抽出機能 (Carp)
- リソグラフィシミュレーション機能 (Lynx)
- 形状エクスポート機能 (Leopard)
- 3次元形状ビューワ (Thrush)
- Web版3次元形状ビューワ (WebThrush)
- Web版断面表示ビューワ (PixViewer)
適用対象
- 半導体プロセスによる加工形状の評価:適用したプロセスの例を以下に列挙します。
- 深掘りエッチング
- SADP (Self-Aligned Double Patterning)
- 自己クローニング法
- 半導体デバイスの断面形状/3次元形状の可視化と評価:適用したデバイスの例を以下に列挙します。
- CMOS
- FinFET
- 3次元メモリ
- 磁気ヘッド
- MEMS
- 半導体デバイスの電気特性抽出(容量、抵抗、インダクタンス)
- 半導体デバイスの故障解析
統合開発インタフェース
本インタフェースは、以下に示す機能を有しています。
- マスクデータの追加/削除/編集
- 材質データの追加/削除/編集
- プロセスモデルの追加/削除/編集
- プロセスフローの追加/削除/編集
- 複数のプロセスのグループ化
- マクロ設定
- レイアウトビューア、形状シミュレータ、3次元形状ビューワ、LCR抽出機能、形状エクスポート機能のランチャー
- プロセスデータセット(pdd)ファイルの保存/読込
レイアウトビューワ (Palm)
本ビューワは、以下に示す機能を有しています。
- GDS-IIファイルの読込/保存
- GDS-IIデータの表示、表示の拡大/縮小
- 図形要素の表示/非表示、表示色、外周の表示パタン、塗りつぶしパタンの変更
- 図形要素の追加/削除/編集
- 計算対象領域の指定(線分または長方形)
形状シミュレータ (Tiger)
本シミュレータの機能を、以下に列挙します。
- 半導体プロセスに伴う形状進展計算(2次元、3次元)
- 既存形状の読込後の形状進展計算
- 独自形式での形状出力 (pix形式、vox形式、dex形式)
- 途中のプロセスにおける一時停止/再開
- 途中のプロセスにおける形状の自動保存
- 途中の断面形状の表示/一時保存
- 途中の断面形状での測長
- 任意位置への物質の配置(2次元モードのみ)
LCR抽出機能 (Carp)
本機能の仕様を、以下に列挙します。
- 入力:形状シミュレータで作成した形状 (vox形式)
- 出力
- 電位分布
- 容量
- 抵抗
- インダクタンス
- 出力結果の可視化
- 指定断面における電位分布表示
- 容量行列のテーブル表示
- 抵抗行列のテーブル表示
- インダクタンス行列のテーブル表示
- 補助機能
- 解析領域の拡張
- メッシュ結合
- 軸のスケーリング
- 数値解法
- 離散化手法:有限体積法
- 行列解法:反復法
リソグラフィシミュレーション機能 (Lynx)
本機能の仕様を、以下に列挙します。
- 入力
- マスクデータ(GDS-II形式、独自テキスト形式)
- パラメータデータ(独自テキスト形式)
- 光学系パラメータ(収差、位相シフタ、瞳フィルタの考慮も可能)
- 光強度計算の制御パラメータ
- 露光計算パラメータ
- PEB計算パラメータ
- 現像計算パラメータ
- レジスト物性パラメータ(DillのABCパラメータ、屈折率など)
- 現像速度テーブル(csv形式)
- 出力
- 光強度分布(csv形式)
- 感光剤濃度分布(Legacy VTK形式)
- 現像形状(独自テキスト形式、3次元ビューワによる可視化)
- 計算モデル
- 光強度計算:Hopkins理論
- 露光計算:Dillモデル、Berningアルゴリズム
- PEB計算:ガウス分布に基づく濃度拡散(ノボラック型)、拡散方程式(化学増幅型)
- 現像計算:ボクセル法
形状エクスポート機能 (Leopard)
形状シミュレータ(Tiger)の計算結果データを、以下に示すファイル形式に変換する機能です。
- STL
- DXF
- VTK
- NASTRAN
- dex
- vox
3次元形状ビューワ (Thrush)
形状シミュレータ(Tiger)の計算結果データを可視化する機能であり、以下に示す小機能を有します。
- 2次元形状の拡大/縮小/平行移動
- 3次元形状の回転/拡大/縮小/平行移動
- 材質の色の変更
- 材質の表示方法の変更(表示/半透明表示/非表示)
- 断面切り出し
- 領域切り出し
- 複数の形状の同時表示/高さ揃え
- 画像出力
Web版3次元形状ビューワ (WebThrush)
Webブラウザ上で動作する3次元形状ビューワです。機能は「3次元ビューワ(Thrush)」と同等です。
Web版断面表示ビューワ (PixViewer)
Webブラウザ上で動作する断面表示ビューワであり、以下に示す機能を有します。
- 計算領域とプロセスのテーブルへの断面画像の自動配置
- サムネイル作成
- 対応する3次元形状の表示(Web版3次元形状ビューワとの連携)
- 断面画像のスライド表示(スライドショー)
- 断面画像へのコメント付加