株式会社数理システム｜パッケージ製品

LSI形状加工シミュレータ PARADISEWORLD-2

―― PAttern Retrieval And DIagnosis SErver WORking for Lsi Development

English version is here.

《PARADISEWORLD-2》は、他に類を見ない高速性・安定性・精度を誇る、対話性に優れたグラフィカルなプロセスシミュレーターです。

マスクパタンからの一貫したプロセス工程のシミュレーション・システムです。平面マスクパタンの任意に指定された断面および領域に対し、各種プロセスを対話的にあるいは連続的にシミュレートします。
折れ線によって形状を構成するいわゆるストリングモデルではなく、ピクセル一つ一つが材質などの情報を持つピクセルモデルにより計算を行うので、いかなる複雑な形状に対しても、精度よく、安定して、かつ高速に計算することができます。

従って、第一線の研究者や技術者のみが実用に供するだけでなく、企業あるいは大学などにおける教育用の道具としても大変適しています。

適用領域

パタン設計、プロセス設計、故障解析、教育、その他

動作環境

OS
Solaris (SPARC/X86)、*1
Linux(i386/x86_64)、*2
Microsoft Windows 2003 Server、*3
Microsoft Windows XP Professional(SP1)、*3
Microsoft Windows 2000 Server(SP3以降)、*3
Microsoft Windows 2000 Professional(SP3以降) *3

*1(Solaris 10にて動作確認)
*2(Redhat9,CentOS-4.6,CentOS-5.1にて動作確認)
*3(UNIXミドルウェア：SFU3.5およびXサーバーが必要)
メモリ
256MB 以上(3Dオプションなしの場合)
1GB 以上(3Dオプションありの場合)
(ただし、必要メモリ量はシミュレーション領域と要求精度によって変わります)

適用例

電子顕微鏡写真

シミュレーション結果

モジュール構成

3次元オプション

パンフレット(PDF) ＜表紙見開き＞
(AdobeAcrobatReader5.0 以降でご覧ください)

Pamphlet(GIF) ＜A Spread＞

プレゼンテーション

対応プロセス例

今後の予定

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※ PARADISEWORLDは NTT で開発された技術をエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)が許諾を受けて使用しています。
※ PARADISEWORLDはエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)および(株)数理システムの製品です。
※ PARADISEWORLDはエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)の登録商標です。
※ Windows NT/2000/XPは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。
※ 記載されている商品名は各社の商標または登録商標です。

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TEL.	03-3358-6681
FAX.	03-3358-1727

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