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![]() LSI形状加工シミュレータ PARADISEWORLD-2 |
―― PAttern Retrieval And DIagnosis SErver WORking for Lsi Development
《PARADISEWORLD-2》は、最高速度・安定性・精度を誇る、半導体プロセスシミュレーターです。
- GDS-2形式のマスクデータにプロセス工程を入力することで、2次元/3次元の形状を正確に作成するプロセスベースの形状シミュレータです。プロセス開発、形状評価、故障解析などをおこなう研究者・技術者が、実際の工程に即して直感的に使うことのできる有用なツールです。
- 折れ線によって形状を構成するいわゆるストリングモデルではなく、ピクセル一つ一つが材質情報を持つピクセルモデルにより計算を行うので、いかなる複雑な形状に対しても、精度よく、安定して、かつ高速に計算することができます。
特に速度に関しては、他のツールの追随を許しません。 - マスクデータとプロセスデータを「完成形状」に可視化することにより、マスク設計者とプロセス設計者の直感的なコミュニケーションをサポートします。
- 3次元CADのような複雑な操作は一切不要。マスクデータとプロセスフローのみから実プロセスの流れを途中経過も含めて忠実にシミュレートして形状を作成します。従って、企業あるいは大学などにおける半導体製造工程の教育用のツールとしても大変適しています。
- 容量/抵抗計算モジュールにより、配線間の寄生容量(浮遊容量)や配線抵抗を抽出することができます。同時に、電位分布の表示も可能です。
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※ PARADISEWORLDは NTT で開発された技術をエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)が許諾を受けて使用しています。
※ PARADISEWORLDはエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)および(株)数理システムの製品です。
※ PARADISEWORLDはエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)の登録商標です。
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