株式会社数理システム｜パッケージ製品

LSI形状加工シミュレータ PARADISEWORLD-2

―― PAttern Retrieval And DIagnosis SErver WORking for Lsi Development

English version is here.

《PARADISEWORLD-2》は、最高速度・安定性・精度を誇る、半導体プロセスシミュレーターです。

GDS-2形式のマスクデータにプロセス工程を入力することで、2次元/3次元の形状を正確に作成するプロセスベースの形状シミュレータです。プロセス開発、形状評価、故障解析などをおこなう研究者・技術者が、実際の工程に即して直感的に使うことのできる有用なツールです。
折れ線によって形状を構成するいわゆるストリングモデルではなく、ピクセル一つ一つが材質情報を持つピクセルモデルにより計算を行うので、いかなる複雑な形状に対しても、精度よく、安定して、かつ高速に計算することができます。
特に速度に関しては、他のツールの追随を許しません。
マスクデータとプロセスデータを「完成形状」に可視化することにより、マスク設計者とプロセス設計者の直感的なコミュニケーションをサポートします。
3次元CADのような複雑な操作は一切不要。マスクデータとプロセスフローのみから実プロセスの流れを途中経過も含めて忠実にシミュレートして形状を作成します。従って、企業あるいは大学などにおける半導体製造工程の教育用のツールとしても大変適しています。
容量/抵抗計算モジュールにより、配線間の寄生容量(浮遊容量)や配線抵抗を抽出することができます。同時に、電位分布の表示も可能です。

適用領域

パタン設計、プロセス設計、形状評価、故障解析、寄生容量抽出、抵抗抽出、電位分布解析、教育、その他

動作環境

OS
Solaris (64bit amd64のみ)、*1
Linux(64bit x86_64)、*2
Microsoft Windows 2003 Server、*3
Microsoft Windows XP Professional(SP2)、*3
Microsoft Windows 2000 Server(SP3以降)、*3
Microsoft Windows 2000 Professional(SP3以降) *3

*1(Solaris 10にて動作確認、SPARCは除く)
*2(CentOS4,CentOS5にて動作確認)
*3(UNIXミドルウェア：SFU3.5およびXサーバーが必要)
メモリ
256MB 以上(3Dオプションなしの場合)
1GB 以上(3Dオプションありの場合)
(ただし、必要メモリ量はシミュレーション領域と要求精度によって変わります)

適用例

電子顕微鏡写真

シミュレーション結果

容量計算サービス

弊社にて容量抽出計算をおこなう計算サービスもおこなっております。価格等の詳細は、こちら(pw-info@msi.co.jp)までお気軽にご相談下さい。容量計算サービス

モジュール構成

3次元オプション

パンフレット(PDF) ＜表紙見開き＞
(AdobeAcrobatReader5.0 以降でご覧ください)

Pamphlet(GIF) ＜A Spread＞

プレゼンテーション

対応プロセス例

今後の予定

お問い合わせ・資料請求はこちら

価格に関してはお気軽にご相談ください。

※ PARADISEWORLDは NTT で開発された技術をエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)が許諾を受けて使用しています。
※ PARADISEWORLDはエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)および(株)数理システムの製品です。
※ PARADISEWORLDはエヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ(株)の登録商標です。
※ Windows NT/2000/XPは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。
※ 記載されている商品名は各社の商標または登録商標です。

お問い合わせ・資料のご請求は，

（株）数理システム《パラダイスワールド》担当

E-mail	pw-info@msi.co.jp
TEL.	03-3358-6681
FAX.	03-3358-1727

▲ このページのTOPへ