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MEMS マクロモデル抽出機能

機構解析の結果を用いて、3次元 MEMS デバイスの動作特性を表すモデル(MEMS マクロモデル)を抽出する機能です。作成したモデルは MEMSpice の新規部品として用いることが可能である他、LTSpiceなど種々の回路シミュレータにインポートして解析することもできます。この機能を用いることにより、「機構解析」から「回路解析」への道筋が生まれ、MEMS デバイスのシステム特性を検証することができます。

設計パラメータの自動チューニング機能

デバイス設計では、機能仕様を満たすパラメータを如何に効率的に決定するかが重要です。設計者の経験や勘に基づいて、検討するパラメータ値の範囲を決め、その中でいくつかシミュレーションを行って、結果を比較検討することはよく行われています。その際、パラメタ-スイープ解析機能を用いれば、計算結果の取得は自動化できます。しかし、その結果を解釈して良し悪しを判断するのは,設計者の腕に委ねられています。そのため、設計パラメータを決定するには試行錯誤を伴います.
そのような試行錯誤の手間を減らすのがパラメータチューニング機能です.「目標とする動作特性」と「探索したいパラメータの範囲」を指定すると,最適化手法に基づき,目標特性に近づくようにパラメータをチューニングします.この機能を用いれば,設計者の経験や勘を生かしながら,短い時間で設計パラメータ値を導き出すことができます.

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株式会社NTTデータ数理システム MEMS担当
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